氧气气氛退火炉设计 1.炉体加热到500℃，使用红外加热器，腔体抽真空，后通入氧气。 2.腔体内部充氧气，压力高于大气压2000Pa，一边通气一边排气，气体流量通过质量流量计控制。 3.炉内温度均匀...

改图 以上信息发布于：2024-11-11 信息来源于：https://zb.mfcad.com/task/84999